光学检测仪 
视觉系统 
工业相机 2M像素彩色数字相机 
分辨率 10-20um可调 
视野尺寸 32x24mm(分辨率:20um) 
取像与运算时间250mm/FOV 4-5FOV/s 
运动系统 
X/Y轴驱动系统交流伺服驱动系统 
X/Y轴编码器分辨率 0.3um 
机械运动机构精密级滚珠丝杠+滑轨 
运动速度 500mm/s 
运输轨道 
适用基板尺寸 50x50–330x250mm 
适用基板厚度 0.3-6mm 
可适应基板弯曲度±3mm 
使用基板上下净高上:30mm 下:60mm 
外型尺寸 
长x宽x高:700x1205x1362mm(不含信号灯) 
设备重量 460kg 
电源规格 
单相交流220V±10%,50/60Hz 
气压要求 0.5Mp 
通讯方式标准SMEMA接口


 


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