（1）在清除工件表面污染物方面
a.清洗介质的化学反应力、溶解力、表面张力、乳化力、分散力；
b.附加的机械外力如摩擦力、研磨力、离心力、抖动力；
c.附加的物理能如热能、超声波能、激光、等离子体、高压气体的动能、紫外线等；
d.把湿法和干法清洗有机结合起来。
（2）加强对清洁度的控制和检测
a.由肉眼观测转变到用仪器检测；
b.由清洗后检测转变在清洗过程中清洁度监控；
c.由定性分析转变到既定性又定量分析；
d.由宏观分析转变到宏观、微观一起分析；
e.采用更先进的科学仪器来检测，如离子色谱仪、红外和紫外分光光度计、高效液相色谱仪、扫描电镜、X射线光电子能谱仪（XPS）等。
（3）使用洁净的原、辅材料和环境条件
高清洁度的产品要有洁净的原、辅材料和环境条件来保证。精密电子产品清洗中，使用的原材料和辅助材料都要用洁净的，有的要使超纯级别的和电子级的，包括水的净化、气的净化等。此外，配备一定级别的洁净。