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多晶硅装置开车前脱脂干燥清洗技术

放大字体  缩小字体 发布日期:2010-12-24  浏览次数:574
    4 技术要求
        化学清洗工程在制订施工方案及现场施工时,除应符合本标准外,还应符合设备相关技术条件或规范以及用户方和施工方共同商定的其它技术要求,如HG J 202、SD-135和劳动部颁发的《低压锅炉化学清洗规则》等。
     4.1 化学清洗前应拆除或隔离能受清洗液损害而影响正常运行的部件和其它配件。无法拆除或隔离者不应产生由于清洗而成的损伤。
     4.2 化学清洗后设备内的有害残液、残渣应清除干净,并应符合相应的标准。
     4.3 设备被清洗表面应无二次浮锈、无情性金属置换析出、元金属粗晶析出的过洗现象,应形成完整的钝化膜。
     4.4 化学清洗过程中的废液不允许直接排入天然水体中,应就近纳入当地的污水处理系统,集中处理,达标排放。
     5 化学清洗质量指标
     5.1 腐蚀率及腐蚀量
       在化学清洗过程中,凡伴有酸洗工艺过程的必须控制设备结构材料的腐蚀率和腐蚀量,其指标应不大于表1的规定。
     6 试验方法
     6.1 腐蚀率及腐蚀量的测定
     6.1.1 取符合HG 5-1526规定的标准腐蚀试片至少3片,并按HG 5-1526第3.2.1~3.2.4条进行处理后,用精度为万分之一的分析天平分别称重。然后,置于清洗系统中的指定位置,待清洗结束后立即取出,并再次分别称重。
     6.1.2 将已测定的和已知数据分别代入式(1)、式(2)计算腐蚀和腐蚀量。
     k=W1-W2/F.T   A=W1-W2/F
     式中:K-腐蚀率,g/(m2·h);
     A-腐蚀量,g/m2;
     W1-清洗前腐蚀试片质量,g;
     W2-清洗后腐蚀试片质量,g;
     F-标准腐蚀试片表面积,m2;
     T-清洗时间,h。
     注:清洗时间的计算方法是当清洗系统开始加入酸洗液直到排尽酸洗液止的时间间隔为清洗时间。
     6.1.3 每个标准腐蚀试片的腐蚀率及腐蚀量用算术平均法计算的数值做为金属材料的腐蚀率和腐蚀量。
     6.2 除垢率的测定
     6.2.1 用蒸馏水和量筒精确测量清洗前后监视管的体积V1、V2,根据已知监视管内径D(或用游标卡尺测量),按式(3)计算无垢监视管的体积V0,再用式(4)计算除垢率。
     V0=(3.14/400D)/D2.H  K=[(V2-V1)/(V0-V1)]×100%
     式中:N-除垢率,%;
     V0-无垢监视管体积,mL;
     D-无垢监视管内径,mm;
     H-监视管长度,mm;
     V1-清洗前监视管体积,mL;
     V2-清洗后监视管体积,mL;
     6.2.2 用上述方法重复测定3次,并将每次所得除垢率用算术平均法计算的数值做为除垢率。
     6.3 洗净率的测定
     6.3.1 当指定面确定后得污垢覆盖面的面积S0,待清洗结束后,用直角座标纸和复写纸在指定面上托印残留污垢面积得S1,按式(5)计算洗净率。
     B=[(S0-S1)/S0]×100%
     式中:B-洗净率,%;
     S0-清洗前指定面中污垢覆盖的面积,mm2;
     S1-清洗后指定面中污垢覆盖的面积,mm2。
     6.3.2 用上述方法重复3次,并将每次所得洗净率用算术平均法计算的数值做为洗净率。
     6.4 油污垢的测定
     6.4.1 擦试法
     用滤纸或白色擦试物在设备或监视管、指定面,未指定面等被清洗表面上用力往返擦试1次,然后用目测评定擦试后擦试物的清洁程度。
     6.4.2 紫外光或黑光法
     将要检查的设备或监视管、指定面、未指定面等被清洗表面置于黑暗处,用波长为320~380mm的专用紫外灯或黑灯照射检查表面。
     6.4.3 挂水法
     a. 监视管的检查
     将脱脂监视管放入盛蒸馏水的水槽并浸没,然后将监视管提出水面使其铜垂约10s,观察水膜覆盖情况,水膜覆盖处表示已清洁,水膜不附着处表示有油污存在。
     b. 指定面的检查(此时的指定面应铅垂)。
     用一清洁无杂质的小型喷雾器,将蒸馏水喷雾于铅垂的指定面上,并使水膜均匀,均10s后,再观察水膜覆盖情况。

 
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