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KLA-Tencor 推出封装检测新机台 满足先进封装市场需求

放大字体  缩小字体 发布日期:2015-05-06  浏览次数:44
 晶圆检测和制程控制解决方案领导厂商KLA-Tencor,藉由在前段半导体制程控制中的专业技术,以及与重要研发单位和产业联盟合作过程中取得的经验,开发出了灵活而高效的用于先进封装的检测方案,可协助解决从晶圆级至最终元件所遇到的封装挑战。

 

KLA-Tencor SWIFT 部门资深行销总监Prashant Aji 表示“KLA-Tencor原本专注在前段制程的检测机台设备,2008年开始决定进入先进封装市场,由于物联网需求成型,消费者对产品的要求,使半导体的技术面对更多挑战,包括先进微影技术、新材料记忆体、2D/3D 制程等挑战。这些挑战对KLA-Tencor就是机会。”

 

在封装中,最初的键合尺寸是100微米,后来逐渐发展到今天的10微米。同时,线宽和间距也在不断的缩小,由之前的10微米一直发展到今天的1微米。新的封装技术也在不断的涌现,比如TSV技术。封装复杂度在提升,导致封装的成本在提高。因此,在封装技术中,检测和量测也变得越来越重要。KLA-Tencor能够为半导体封装提供一整套全面的技术服务和支持。

 

KLA-Tencor所推出两款新产品,可支持先进半导体封装技术检测:CIRCL-AP™ 和 ICOS® T830。CIRCL-AP 针对晶圆级封装中多种工艺制程的检测与工艺控制而设计,不仅拥有高产量,还能进行全表面晶圆缺陷检测、检查和测量。全球现已安装了多套不同配置的CIRCL-AP系统,用于 TSV 的开发和生产、扇出晶圆级封装,以及其他晶圆级封装技术以及使用硅通孔技术 (TSV) 的 2.5D/3D IC 集成。

 

中国已经成为世界最大的电子市场,未来也具有无限的潜力。KLA-Tencor致力于服务客户,贴近市场,因此在中国大陆地区投入了巨大的努力。未来,KLA-Tencor将与客户一起,持续不断的努力提升良率,改进技术,帮助客户降低成本,更好的面对新的技术挑战

 
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